锆(Zr)溅射靶材与其原材料具有相同的性能。其密度为6.508g / cc,熔点为1852℃,在1987℃下的蒸气压为10 -4托。它是一种有光泽、灰白色、强过渡金属,与铪非常相似,在较小程度上与钛相似。锆的氧化物主要用作耐火材料,但少量的锆因其抗腐蚀性强而用作合金催化剂。锆溅射靶材广泛用于装饰涂层,半导体和光学涂层领域。 锆靶材制备工艺流程 备料 - 电子束熔炼 - 化学分析 - 锻造 - 轧制 - 退火 - 金相检测 - 机加工 - 尺寸检测 - 清洗 - 终检 - 包装 锆溅射靶材的应用 广泛应用于薄膜沉积、燃料电池、装饰、半导体、显示器、LED和光伏器件、功能涂层等光学信息存储空间行业、汽车玻璃和建筑玻璃等玻璃涂层行业、光通信等领域。 锆金属的其他应用 这种金属在核工业中也被用作包层燃料元件的核反应堆,因为它对中子的吸收截面很低。锆对许多常见的酸、碱和海水具有很强的抗腐蚀性。因此,在使用腐蚀剂的化学工业中广泛使用。这种金属在钢中用作合金化剂,也用于制造外科器械。锆在真空管、摄影用闪光灯。 锆靶材的其他合金形式 锆钇、锆钛、锆铪合金等。